东京计装耐压防爆型热式气体质量流量计

东京计装耐压防爆型热式气体质量流量计 EP-TF-5300 / EP-TC-1000 / EP-TC-2000V

产品定位总览

旁路分流式 耐压防爆型热式气体质量流量仪表系列

EP-TF-5300：Mass Meter 质量流量计（只测流量，无调节阀）

EP-TC-1000 / EP-TC-2000V：Mass Flow Controller（MFC，流量计 + 内置控制阀，可闭环控流量）

防爆等级 Exd II CT6，可用于氢气等易燃易爆气体工况；区分标准压力与高压版本。

H-EP-TF-5300 = EP-TF-5300 高压衍生型号，搭配 EP-TC-2000V 使用。

系统构成示意图

一、EP-TF-5300 防爆热式质量流量计

测量原理

旁路分流热传导式，直接测量标况质量流量 (Nor)，无需温压补偿。

量程范围（N₂标定）

EP-TF-5310：5 mL/min ~ 20 L/min(nor)

EP-TF-5320：20 ~ 80 L/min(nor)

EP-TF-5330：80 ~ 300 L/min(nor)

EP-TF-5340：300 ~ 500 L/min(nor)

H-EP-TF-5300（高压型）：同流量量程，耐压大幅提升

核心规格

精度：±1.0% FS（25℃标准条件）

量程比：50:1

介质温度：5～50℃

标准型最高压力：4.9 MPa(G)

H 高压型最高压力：14.7 MPa(G)

接液材质：SUS316，密封 FKM/CR 氟橡胶

过程接口：Rc 螺纹、SW 卡套、法兰（1/4"～3/4" 主流）

电气：分体式探头，外接TM-1400/TM-3000转换器显示、输出信号

二、EP-TC-1000 防爆 MFC（标准压力型）

EP-TF-5300 本体集成精密控制阀，实现流量自动闭环控制

适用配套：标准压力 EP-TF-5300

最大控制量程：0～100 L/min (nor)

最高入口压力：2.9 MPa(G)

控制区间：满量程 2%～100%

响应时间：≤3s（达到设定值 98%）

设定信号：DC 0～5V

供电：±15V DC（+15V/−15V 双极性供电）

东京计装耐压防爆型热式气体质量流量计

三、EP-TC-2000V 高压防爆 MFC

高压工况专用控制器，对应 H-EP-TF-5300

最高入口压力：9.8 MPa(G)

流量控制范围：200 mL/min～100 L/min (nor)

压差工作区间：

FS＜20L/min：入口压力 20%～80%

FS≥20L/min：入口压力 20%～40%

防爆：Exd II CT6

供电、信号规格与 EP-TC-1000 一致（±15V DC，0~5V 设定）

EP-TC-1000 VS EP-TC-2000V 关键对比

表格

项目EP-TC-1000EP-TC-2000V

适配传感器EP-TF-5300（标准压力）H-EP-TF-5300（高压）

最大入口压力2.9 MPa9.8 MPa

适用场景中低压工艺气体高压氢气、高压氮气、高压试验回路

四、系统配套组件

探头本体不能单独使用，必须搭配转换器：

TM-1400（DIN 导轨小型转换器）

流量数字显示、0~5V 输出、外部 0~5V 流量设定

可选脉冲累积输出、报警触点

整套组成：EP-TF-5300 + TM-1400（测量系统）

整套组成：EP-TF-5300+EP-TC-1000 + TM-1400（流量控制系统）

五、适用介质与工况限制

✅ 适用：N₂、Ar、He、H₂、压缩空气、各类洁净工艺气体

❌ 禁止：带油雾、粉尘、大量水汽、腐蚀性气体

典型行业：高压加氢装置、化工防爆工艺、高压气体测试台、燃料电池测试、热处理高压气氛。

六、安装与维护要点

上游标配精密过滤器（≤5μm），防止杂质进入旁路毛细管造成堵塞；

严格按照壳体箭头流向，建议水平安装；避免液态冷凝液倒流进传感器；

不允许高压冲击、骤开阀门，容易损坏旁路分流元件；

零点漂移：每 6～12 个月执行一次零点校准；介质更换必须重新标定；

一旦毛细管堵塞，无法现场修复，必须返厂清洗 / 更换传感单元；

防爆场所电缆必须采用原厂认可防爆密封接头。

七、同品牌型号快速区分（方便选型对照）

EP-TF-5300 系列：防爆旁路式 MFM/MFC（高压、防爆场景）

NM-2000：通用半导体小型 MFC（非防爆，常规低压高纯气）

SRT1000：管道式 / 插入式热式流量计（大管径工业气体）