东京计装气体质量流量计

东京计装 Tokyo Keiso NM‑2000

产品定位

原理：热传导式质量流量原理，直接测标况质量流量，无需温压补偿，内置电磁阀 / 比例阀实现流量闭环调节。

一、量程范围（标况 mL/min (Nor) / L/min (Nor)）

二、核心技术参数

精度与线性

• 精度：±1.0%FS

• 重复性：±0.2% FS

• 量程比：50:1

• 标定：5 点线性校准（数字机型标配）

流体条件

• 适用介质：N₂、Ar、He、O₂、压缩空气、H₂等洁净干燥工艺气体

• 介质温度：5～45℃

• 环境温度：5～45℃

• 入口压力：0.05～0.5 MPa (G)（参考，依量程）

• 耐压：最高 0.6 MPa（标准机型）

• 禁止：含油、粉尘、水汽、腐蚀性气体

电气与信号（NM‑2000 数字型）

• 供电：DC24V

• 设定信号：0～5V / 0～10V（外部给定流量设定点）

• 流量输出：0～5V / 4～20mA

• 通讯：RS485（专用 CMS 协议，可选定制 Modbus）

• 功能：在线零点校准、自诊断、温度补偿、流量累积、故障报警

• 响应时间：＜2 秒

接液材质

东京计装气体质量流量计

四、典型应用场景

1. 半导体、光伏设备工艺吹扫气、载气控制

2. 真空镀膜、PVD/CVD 气体配比

3. 热处理、气氛炉氮气 / 氩气保护气氛控制

4. 实验室气体配比、烟气标定、分析仪供气

五、安装与保养要点（原厂规范）

1. 前置必须过滤器（2μm 以上），防止粉尘污染传感探头；

2. 建议水平安装，避免冷凝液接触传感器；气流方向严格遵循本体箭头；

3. 每年一次零点校准；更换气体种类必须重新标定；

4. 严禁液体倒流进入 MFC，极易造成传感器损坏；

5. 长期停机保持干燥惰性气体吹扫封存。

六、区分易混淆型号（很多人弄混）

• NM‑2000：MFC 质量流量控制器（带阀门，可控流量）

• TF‑2000N：小型热式质量流量计（只测流量，无控制阀）

• SRT1000：管道 / 插入式大管径热式流量计（工业大管路）

• NMX2000：金属管转子流量计（浮子式，不同产品）